ISO/TR 16268-2009 表面化学分析.验证离子注入产生的工作参考材料中保留面剂量的建议规程
作者:标准资料网 时间:2024-05-07 19:36:20 浏览:8722
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【英文标准名称】:Surfacechemicalanalysis-Proposedprocedureforcertifyingtheretainedareicdoseinaworkingreferencematerialproducedbyionimplantation
【原文标准名称】:表面化学分析.验证离子注入产生的工作参考材料中保留面剂量的建议规程
【标准号】:ISO/TR16268-2009
【标准状态】:现行
【国别】:国际
【发布日期】:2009-10
【实施或试行日期】:
【发布单位】:国际标准化组织(IX-ISO)
【起草单位】:ISO/TC201
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:认证;化学分析和测试;定义(术语);剂量;精整;离子束;离子;分析方法;标准物质;半导体片;半导体;规范(验收);表面性质;波长
【英文主题词】:Certification;Chemicalanalysisandtesting;Definitions;Doses;Finishes;Ionbeams;Ions;Methodsofanalysis;Referencematerials;Semiconductorslices;Semiconductors;Specification(approval);Surfaceproperties;Wavelengths
【摘要】:
【中国标准分类号】:G04
【国际标准分类号】:71_040_30;71_040_40
【页数】:19P;A4
【正文语种】:英语
【原文标准名称】:表面化学分析.验证离子注入产生的工作参考材料中保留面剂量的建议规程
【标准号】:ISO/TR16268-2009
【标准状态】:现行
【国别】:国际
【发布日期】:2009-10
【实施或试行日期】:
【发布单位】:国际标准化组织(IX-ISO)
【起草单位】:ISO/TC201
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:认证;化学分析和测试;定义(术语);剂量;精整;离子束;离子;分析方法;标准物质;半导体片;半导体;规范(验收);表面性质;波长
【英文主题词】:Certification;Chemicalanalysisandtesting;Definitions;Doses;Finishes;Ionbeams;Ions;Methodsofanalysis;Referencematerials;Semiconductorslices;Semiconductors;Specification(approval);Surfaceproperties;Wavelengths
【摘要】:
【中国标准分类号】:G04
【国际标准分类号】:71_040_30;71_040_40
【页数】:19P;A4
【正文语种】:英语
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